Mass Flow Controller (MFC)

VIC-D, CAF, PSC-D, EPC, TSC, TSC-D,
TSC-L, TSC-M, MURU Series
Flow Range : 0.1 SCCM ~ 6,000 SLM

Mass Flow Meter (MFM)

TSM-D, TSM-L, ARA Series
가스의 질량유량 측정기기
Flow Range : 0.1 SCCM ~ 6,000 SLM

Electronic Pressure Controller (EPC)

EPC-200 Series
입력 또는 출력단의 압력을 원격으로 제어하는 기기
Pressure Control Range : 0~1,450psi(0~100bar)

Gas Mixer, Gas Panel

전자식 2~8종 가스혼합기
PLC+터치패널타입, 리드아웃박스 타입
혼합가스 자동충전기능 탑재 (보관탱크의 압력을 자동제어)

Pressure Gauge

반도체 라인에 적용가능한 UHP 타입 압력센서
E/P 처리로 내식성이 우수함
Pressure Range : Vacuum~10,152psi (700bar)

Gas Regulator

반도체, 연구실, 일반산업 적용 가능
모든가스 대응 및 VCR, LOK 피팅 가능
압력제어범위 25psi~4,500psi(1.7~310bar)